Уводзіны ў W-SEAL і C-SEAL

Інтэграваныя газавыя сістэмы (IGS), якія выкарыстоўваюцца ў паўправадніковым абсталяванні, звычайна складаюцца з такіх кампанентаў, як дыяфрагмавыя клапаны, праверкі клапанаў, рэгулятары, фільтры, датчыкі ціску, кантролеры масавага патоку і субстраты. Гэтыя кампаненты звычайна ўсталёўваюцца на паверхню і герметызуюцца пры дапамозе W-SEAL, альбо C-SEAL. Выбар тыпу герметызацыі мае вырашальнае значэнне пры вызначэнні прадукцыйнасці ўшчыльнення сістэмы. У гэтай тэхнічнай размове мы абмяркуем падабенства і адрозненні паміж W-SEAL і C-SEAL.

Падабенства паміж W-SEAL і C-SEAL

W-SEAL і C-SEAL-гэта абодва тыпу металічных ушчыльненняў. У адрозненне ад неметалічных ушчыльненняў, такіх як гума або кампазіт, металічныя ўшчыльненні не пагаршаюцца з цягам часу з-за ўшчыльнення, і яны маюць добрую хімічную сумяшчальнасць. Пракладкі ICHOR W-SEAL (серыі IWG) і C-SEAL (серыі ICG) выраблены з 316L або 316L VAR з нержавеючай сталі ў адпаведнасці з працэсам ICHOR Ultra Protical (FC-03). Гэтыя пракладкі электранарэзуюцца, каб дасягнуць шурпатасці паверхні RA ≤ 5 мкм. (0,13 мкм), які адпавядае Semi F19 UHP. Пры выдатнай прадукцыйнасці герметызацыі іх ушчыльненне ўцечкі асобы (гелій) ≤ 1 × 10 ^-9 std см ³ /с.

У параўнанні з ушчыльненнем зваркі або металічнай пракладкай, W-SEAL і C-SEAL больш кампактныя і могуць значна паменшыць памер сістэм дастаўкі газу. Для выпадкаў, якія патрабуюць абмежаванага патоку, даступныя ўшчыльненне пракладкі з указаным адтулінай.

Адрозненні паміж W-SEAL і C-SEAL

W-SEAL Пракладкі (серыі IWG) распрацаваны з "плаваючай" структурай, што дазваляе герметычнаму твару быць незалежным ад кампанентаў, якія атрымліваюць знешнія сілы. Падчас ўстаноўкі герметызацыя пракладкі сціскаецца супраць павярхоўных кампанентаў (напрыклад, корпуса W-Seal Calve) і субстратаў і ўтварае ўшчыльненне. Кожны W-SEAL можа быць усталяваны ў сістэме індывідуальна, што дазваляе лёгка выдаліць і пераўсталяваць, паколькі макеты сістэмы змяняюцца. Акрамя таго, набор ICHOR Service (мадэль №: SC-IGS-11) прапануе пракладкі для пракладкі W-SEAL, каб забяспечыць якасную ўстаноўку пракладкі.

Раздзел пракладкі C-SEAL (серыя ICG) нагадвае літару "C" з двума плоскімі ўшчыльняльнымі босамі з абодвух бакоў. Пры правільным зацягванні верхняя і ніжняя частка пракладкі разграміла па паверхневых кампанентах (напрыклад, корпус C-Seal Calve) і загартаваныя ўшчыльняльныя грані субстратаў і ствараюць ушчыльняльнікі. Акрамя таго, кранштэйн пракладкі C-SEAL можа дапамагчы знайсці некалькі пракладкаў адначасова.